진공 펌프는 밀봉된 용기에서 가스를 추출하여 진공을 생성하고 유지할 수 있는 장치입니다. 다양한 진공 환경을 제공하기 위해 과학 연구 및 산업 분야에서 널리 사용됩니다.

진공 펌프의 작동 원리는 주로 다음 유형을 포함하여 다양합니다.

1.용적식 진공 펌프: 펌프 챔버 용량은 흡입 및 배기 과정을 완료하기 위해 주기적으로 변경됩니다. 이 유형의 펌프는 왕복식과 회전식 베인의 두 가지 유형으로 구분됩니다. 왕복 진공 펌프는 피스톤의 왕복 운동을 사용하여 가스를 흡입, 압축 및 배기합니다. 회전 날개 진공 펌프는 회전 회전자를 사용하여 가스를 흡입하고 압축합니다.

2.건식 진공 펌프: 기름이나 기타 액체를 밀봉 매체로 사용하지 않으므로 반도체 에칭 공정 등 오일 프리의 깨끗한 진공이 필요한 환경에 적합합니다.

3.액봉식 진공 펌프: 로터가 회전할 때 액체(예: 물 또는 오일)를 펌프 케이싱에 던져 액체의 동심원 고리를 형성합니다. 이 링은 흡입 및 압축을 달성하기 위해 로터 블레이드와 함께 주기적으로 변화하는 여러 개의 작은 부피를 형성합니다.

4.루츠 진공 펌프: 동기적으로 반대 방향으로 회전하는 두 개의 로터가 장착되어 있습니다. 로터 사이, 로터와 펌프 케이싱의 내벽 사이에는 일정한 간격이 유지됩니다. 회전식 가변 용량형 진공 펌프입니다.

5.운동량 전달 펌프: 고속 회전 블레이드 또는 고속 제트를 사용하여 운동량을 가스 분자로 전달하여 펌프 입구에서 출구까지 가스를 지속적으로 전달합니다. 분자 진공 펌프는 이러한 유형의 펌프의 예입니다.

6.제트 진공 펌프: 고속 제트에 의해 생성된 운동량을 사용하여 가스를 출구로 이송합니다. 액체 제트, 가스 제트 또는 증기 제트 진공 펌프일 수 있습니다.

진공 펌프는 필요한 진공 환경을 제공하여 많은 산업 공정과 과학 실험이 원활하게 진행되도록 합니다. 그들은 현대 산업과 과학 연구에 없어서는 안될 장비 중 하나입니다.